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Microelectrónica y MEMS

Tecnología de circuitos y sensores desarrollada en México


El propósito es difundir los orígenes, objetivos y alcances de nuestra Tecnología Nacional de Sistemas MicroElectroMecánicos (MEMS, MicroSistemas), desarrollada por un grupo de investigadores del INAOE.

Nuestros laboratorios principales tienen por nombre: Laboratorio de Innovación en MEMS (LI-MEMS INAOE), Laboratorio de Microelectrónica y Centro de Diseño de MEMS (CD-MEMS INAOE). En conjunto presentan una plataforma tecnológica única en nuestro país, con la capacidad de desarrollar nuevos prototipos de circuitos y sensores principalmente para la Ingeniería Biomédica, ofrecer servicios de entrenamiento para la industria y cursos o Diplomados con reconocimiento oficial. Estos laboratorios y servicios que se ofertan, se presentan en este blog.

Nuestra moderna tecnología de MEMS tiene sus fundamentos en la Microelectrónica, tecnología multidisciplinaria que hace posible la fabricación de circuitos integrados (CI´s, chips), los cuales mediante diversos procesos químicos y térmicos, le dan forma a estos circuitos definidos sobre la superficie de obleas de silicio.


Oblea de silicio para la fabricación chips


Corte de chips y encapsulado

Los chips desempeñan diversas funciones electrónicas tales como amplificación, almacenamiento de información, procesamiento de audio y vídeo, cálculos matemáticos, etc, de forma tal que hacen posible el funcionamiento de las computadoras, tablets, hornos de microondas, televisiones inteligentes, etc. En otro contexto también hacen posible las modernas telecomunicaciones.

En un aspecto general, los MEMS consisten de una combinación de circuitos integrados y un sensor o arreglos de sensores, o bien con actuadores y/o algún otro tipo de elemento transductor (microcomponentes). Este arreglo en forma de chip tiene el propósito de desarrollar alguna función electrónica programada (inteligente) al estar en interacción con un medio o variable tal como temperatura, humedad, campo magnético, señales sonoras o algún líquido, de tal forma que proporciona información e interacción de gran utilidad práctica.
Se presentan varias secciones relacionadas con Tecnología de Microelectrónica como tecnología nodriza de los MEMS, secciones de infraestructura, descripción de proyectos, textos introductorios de trabajos de tesis y artículos de investigación, principalmente.

Es necesario reconocer que la Tecnología de Microelectrónica del INAOE, el Laboratorio de Innovación en MEMS (LI-MEMS INAOE) y el Centro de Diseño de MEMS (CD MEMS INAOE); se han desarrollado a lo largo de varias décadas con el esfuerzo de diversos investigadores del extranjero y mexicanos. Los investigadores mexicanos son Mariano Aceves, Alfonso Torres, Carlos Zúñiga, Roberto Murphy, Edmundo Gutiérrez, Mónico Linares, Javier de la Hidalga, Pedro Rosales, Claudia Reyes, Joel Molina y Mario Moreno.

Adicionalmente es necesario resaltar el trabajo fundamental de los técnicos de laboratorio, que laboran en nuestras instalaciones colaborando en el desarrollo de las distintas técnicas de fabricación y análisis eléctrico de los prototipos. El personal técnico lo conforman: Mauro Landa, Ignacio Juárez, Pablo Alarcón, Netzahualcóyotl Carlos, Juan Manuel Alvares, Leticia Tecuapetla, Rosa Técuatl, Adrián Itzmóyotl, Armando Hernández, Víctor Aca, Teresa Becerra, Ramiro Arroyo, Alfonso Cortes, Israel Medina, Oscar Pestaña, Gabriel Santiago, Oscar Aponte y Alejandro Benítez. 

Finalmente, es importante mencionar la aportación de los estudiantes de posgrado, que con cada proyecto de tesis concluido se gradúan y se consolidan como eficaces colaboradores en el desarrollo de nuestra Tecnología Nacional de Microelectrónica y MEMS, que reiterando: por su infraestructura y productos tecnológicos es única en el país.

Wilfrido Calleja Arriaga
wcalleja@inaoep.mx



Actividades de los Cursos de Diplomado, Módulo Laboratorio de Microelectrónica y MEMS, en las instalaciones del INAOE



Chip electromecánico fabricado con la Tecnología PolyMEMS INAOE®



Exposición Tecnología PolyMEMS INAOE


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